L'endommagement de couches minces d???pos???es sur un substrat polym???rique souple a d'importantes cons???quences dans le domaine de l'???lectronique flexible. Afin d'assurer un fonctionnement fiable et optimal de ces syst???mes, il est important d'???tudier leurs propri???t???s m???caniques dans les conditions de sollicitations auxquelles sont soumis en service. Cette ???tude porte sur la d???formation bi-axiale contr???l???e de nano-composites W/Cu en couches minces d???pos???es sur des substrats polyimides. La nano ...
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L'endommagement de couches minces d???pos???es sur un substrat polym???rique souple a d'importantes cons???quences dans le domaine de l'???lectronique flexible. Afin d'assurer un fonctionnement fiable et optimal de ces syst???mes, il est important d'???tudier leurs propri???t???s m???caniques dans les conditions de sollicitations auxquelles sont soumis en service. Cette ???tude porte sur la d???formation bi-axiale contr???l???e de nano-composites W/Cu en couches minces d???pos???es sur des substrats polyimides. La nano-structuration est obtenue par stratification de deux mat???riaux immiscibles (W et Cu) par pulv???risation ionique avec contr???le de la taille des grains par contr???le de l'???paisseur selon la direction de croissance du film. Le comportement m???canique a ???t??? caract???ris???e avec une grande pr???cision ??? deux ???chelles diff???rentes: un essai de traction bi-axial est coupl??? ??? la diffraction des rayons X (d???formation microscopique) et ??? la corr???lation d'images num???riques (d???formation macroscopique). Ainsi, trois domaines de d???formation associ???s ??? diff???rents m???canismes de deformation ont ???t??? mis en ???vidence. L'???tude de l'effet de ratio de force a r???v???l??? un comportement fragile du nano-composite.
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