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Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems

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Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems - Varadan, Vijay K, and Jiang, Xiaoning, and Varadan, V V
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Eine moderne Einf???hrung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten ben???tigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische D???nnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.

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