Die physikalischen und chemischen Eigenschaften einer Fest- k???rperoberfl???che werden von ihrer Zusammensetzung im Bereich der obersten Atomlagen bestimmt. Eine m???glichst genaue Kennt- nis der chemischen Zusammensetzung der Festk???rperoberfl???che ist Voraussetzung f???r das Verst???ndnis vieler technisch wich- tiger Bereiche wie z. B. Katalyse, Korrosion und D???nnschicht- technik. Ein Verfahren zur Oberfl???chenanalyse, das eine um- fassende Information ???ber diese Eigenschaften liefert, sollte daher folgende ...
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Die physikalischen und chemischen Eigenschaften einer Fest- k???rperoberfl???che werden von ihrer Zusammensetzung im Bereich der obersten Atomlagen bestimmt. Eine m???glichst genaue Kennt- nis der chemischen Zusammensetzung der Festk???rperoberfl???che ist Voraussetzung f???r das Verst???ndnis vieler technisch wich- tiger Bereiche wie z. B. Katalyse, Korrosion und D???nnschicht- technik. Ein Verfahren zur Oberfl???chenanalyse, das eine um- fassende Information ???ber diese Eigenschaften liefert, sollte daher folgende Forderungen erf???llen: 1. Anwendbarkeit auf beliebige Proben 2. Informationstiefe im Bereich einer Monolage 3. Nachweis von Elementen und Verbindungen 4. Trennung von Isotopen 5. Hohe Empfindlichkeit 6. Hohes Aufl???sungsverm???gen 7. Keine Diskriminierung bestimmter Komponenten 8. Keine Beinflussung der Oberfl???che durch den Analysenvorgang selbst Kein Verfahren zur Oberfl???chenanalyse kann alle diese Forderunger erf???llen. Im Vergleich zu anderen Verfahren wie z. B. der Auger- Elektronen-Spektroskopie (AES) (1), der Photoelektronen-Spektros- kopie (ESCA) (2,3) oder der Ionenr???ckstreuung (ISS) (4) besitzt die Sekund???rionen-Massenspektrometrie (SIMS) (5-8) jedoch folgende Vorteile: 1. Direkter Nachweis von chemischen Verbindungen, 2. Nachweis von Wasserstoff und seinen Verbindungen, 3. Trennung von Isotopen, 4. Hohe Empfindlichkeit f???r viele Elemente und Verbindungen. Damit ist das SIMS-Verfahren insbesondere zur Untersuchung von monomolekularen Oberfl???chenschichten und Oberfl???chenreaktionen sowie zur Spurenanalyse geeignet. Ein wichtiger Nachteil des - 2 - Verfahrens ist jedoch die f???r die einzelnen Elemente und Verbindungen um Gr??????enordnungen verschiedene Nachweis- empfindlichkeit, die zudem nicht nur von dem betreffenden Element bzw. der Verbindung selbst, sondern auch von dessen Umgebung, der "Matrix", abh???ngt.
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