Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstr???chtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich f???r jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; f???r den Studierenden ebenso wie f???r den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.
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