Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt f???r ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender W???rmebehandlung bietet die M???glichkeit, Ni-Al Superlegierungen f???r Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. ???ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpr???fk???rper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilit???t gegen plastische Verformung.
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Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt f???r ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender W???rmebehandlung bietet die M???glichkeit, Ni-Al Superlegierungen f???r Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. ???ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpr???fk???rper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilit???t gegen plastische Verformung.
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